低释气性光阻组合物

主权项

一种包含具有下式之重复单元的聚合物：
其中Z表示聚合物主链之重复单元；X为选自由以下组成之群之键联基团：伸烷基、伸芳基、伸芳烷基、羰基、羧基、羧基伸烷基、氧基、氧基伸烷基及其组合；且R系选自由以下组成之群：氢、烷基、芳基及环烷基；其限制条件为X与R不为同一环系统之一部分；且包含至少一个具有一或多个官能基之其他重复单元，该等官能基选自由苯酚、氟醇、内酯、酸酐、醇基、磺醯胺基团及酸不稳定基团组成之群。