| 发明名称 | 超声波振动加热干燥装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种超声波振动加热干燥装置，其可以保持振动板部整体的温度均匀，并可以抑制基板上的涂布膜形成干燥不匀。该超声波振动加热干燥装置具有：振动板部，其使基板超声波振动悬浮；加热器部，其对振动板部进行加热；支撑部件，其穿过支撑贯穿孔来支撑振动板部，使得振动板部与加热器部相对，其中，所述支撑贯穿孔形成于加热器部，支撑部件的结构为，贯插于支撑贯穿孔中的部分的至少与支撑贯穿孔的内周面相对的部分被比支撑部件的放射率高的高放射率部件覆盖。 | ||
| 申请公布号 | CN104941830A | 申请公布日期 | 2015.09.30 |
| 申请号 | CN201510128617.6 | 申请日期 | 2015.03.24 |
| 申请人 | 东丽工程株式会社 | 发明人 | 山下元气;内潟外茂夫;奥田大辅 |
| 分类号 | B05B3/02(2006.01)I;B05B3/12(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I;F26B25/04(2006.01)I | 主分类号 | B05B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;于靖帅 |
| 主权项 | 一种超声波振动加热干燥装置，其特征在于，该超声波振动加热干燥装置具有：振动板部，其使基板超声波振动悬浮；加热器部，其对所述振动板部进行加热；以及支撑部件，其穿过支撑贯穿孔来支撑所述振动板部，使得所述振动板部与所述加热器部相对，其中，所述支撑贯穿孔形成于所述加热器部，所述支撑部件的贯插于所述支撑贯穿孔中的部分的至少与所述支撑贯穿孔的内周面相对的部分被比所述支撑部件的放射率高的高放射率部件覆盖。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||