具有用于紫外发生的可更换模块的高功率固态激光器

摘要

提供一种设置成可更换地安装在激光共振腔内部的腔内模块（150）。该腔内模块包括：第一光学元件（104）、第二光学元件（102），以及频率转换元件（107）。所述频率转换元件设置成接收第一频率的光并输出第二频率的光。所述第一光学元件在第一频率处是至少部分透射的。所述频率转换元件至少由所述第一光学元件和第二光学元件封装。该激光共振器可以包括HR端镜片（101）、Q开关（108）、Nd:YAG激光增益介质（105）、在激光基波处透射并在其二次谐波处反射的镜片（103）、发生二次谐波的非线性晶体（106）、第一光学元件（104）、用于产生三次谐波的非线性晶体（107）以及反射激光基波和SH并透射三次谐波的镜片（102），该第一光学元件（104）为在三次谐波处反射并在基波和SH处透射的镜片。可以平移该模块（150），以提供发生三次谐波的晶体（107）的面的未损害部分或在该非线性晶体不能再继续使用的情况下替换该晶体以延长激光的寿命。

主权项

一种腔内模块，其设置成可更换地安装在激光共振腔内部，该腔内模块包括：第一光学元件；第二光学元件；以及频率转换元件，该频率转换元件设置成接收第一频率的光并输出第二频率的光，其中所述第一光学元件在第一频率是至少部分透射的；并且其中所述频率转换元件至少由所述第一光学元件和第二光学元件封装。