制造执行系统及其调校制程参数的方法

主权项

一种制造执行系统调校制程参数的方法，其包含：一设定制程步骤，设定一设备之一机台参数以启动该设备；一汇入参考制程调控参数步骤，由一决策资料库中找出对应该设备之制程的一参考制程调控参数及该参考制程调控参数所对应的一参考回归趋势，并将该参考制程调控参数及该参考回归趋势汇入该设备；一虚拟量测步骤，该设备以该参考制程调控参数进行虚拟量测，而得到一虚拟回归趋势；一比对步骤，比对该虚拟回归趋势与该参考回归趋势之间的一第一差值是否小于一误差值，若该第一差值小于该误差值则进行一实际量测步骤，该设备以该参考制程调控参数进行实际量测并得到一实际值，若该第一差值不小于该误差值则进行一调整参数步骤，根据该第一差值调整该设备的该机台参数，并依序进行该虚拟量测步骤及该比对步骤；以及一实际值比对步骤，比对该实际值与该虚拟回归趋势之间的一第二差值是否小于一预设值，若该第二差值小于该预设值则结束该设备制程参数之调校，若该第二差值不小于该预设值则进行一修正步骤，根据该实际值与该虚拟回归趋势之间的该第二差值修正该参考制程调控参数后再进行该实际值比较步骤。