| 摘要 |
本発明はパーフルオロ化合物の分離及びリサイクルシステムに関するもので、ドライエッチング工程とＣＶＤ洗浄チャンバなどのパーフルオロ化合物を利用したり生成される排ガス発生施設で発生する粉じんを含むガスを処理するパーフルオロ化合物の分離及びリサイクルシステムにおいて、一つ以上の排ガス発生施設で発生する排ガスが流入され、管路の断面積がテーパー状に拡張される拡張管と、前記拡張管で垂直下方に長く延長されるバッファータンクと；一側が前記バッファータンクの拡張管が形成された他側に連結される水平分配管と；下端は前記水平分配管に連結され、垂直上部に延長され、所定間隔で離隔されて装着される複数の膜分離フィルターと；複数の前記膜分離フィルターで分離膜を通過できなかった不純ガスを聚合して再処理室に移動させる不純ガス排出管路と；第１真空ポンプが装着され、前記第１真空ポンプで吸入された窒素ガスを補助膜分離フィルターによって再び分離して、不純ガスは不純ガス排出管路で排出し、窒素ガスは再利用することができるように移動させる第１窒素ガスリサイクル管路と；第２真空ポンプが装着され、前記第２真空ポンプで吸入された純度の高い窒素ガスを再利用することができるように移動させる第２窒素ガスリサイクル管路と；で構成されることを特徴とするパーフルオロ化合物の分離及びリサイクルシステムに関するものである。【選択図】なし |
