基板用涂布装置及基板涂布方法

摘要

基板用涂布装置(10)具有：精密载物台(7)、喷嘴(8)、传送带(3~6、21)。精密载物台(7)水平设置有放置基板W的放置面，沿着传送方向在上游端和下游端之间自由往返移动。传送带(3~6、21)以基板W的表面位于水平面内的方式沿着规定的传送方向经由精密载物台(7)的放置面传送基板W。中间传送带(21)在传送面与载物台的放置面一致的传送位置、和传送面比载物台的放置面靠下方的非传送位置之间自由升降。

主权项

一种基板用涂布装置，具有：载物台，水平设置有放置基板的放置面，沿着传送方向在规定范围内自由往返移动；喷嘴，具有向下方喷出涂布液的狭缝，该狭缝与上述传送方向正交；传送带，以基板的表面位于水平面内的方式沿着上述传送方向经由上述放置面传送基板，该传送带的至少上述规定范围的长度的中间部自由升降；载物台移动单元，使上述载物台在上述规定范围内的上游端和下游端之间往返移动；传送带升降单元，使上述传送带的中间部在传送面与上述放置面一致的传送位置、和传送面比上述放置面靠下方的非传送位置之间升降；和控制部，构成为控制上述载物台移动单元及上述传送带升降单元的动作，使得在上述放置面放置有通过上述传送带传送的基板的上述载物台从上述上游端向上述下游端移动的期间，从上述喷嘴对基板的表面喷出涂布液，并使得上述载物台从下游端移动到上游端的期间，下一基板的下游端不到达传送方向上的喷嘴的配置位置。