发明名称 Endblock-Anordnung
摘要 <p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: mindestens einen Endblock (102) zum Halten einer rohrförmigen Elektrode (104) in einer Vakuumkammer (106), wobei der Endblock (102) derart eingerichtet ist, dass eine an den Endblock (102) gekuppelte rohrförmige Elektrode (104) um eine Rotationsachse (101a) drehbar gelagert ist; wobei der Endblock (102) eine Kühlmittelführung aufweist zum Versorgen einer an den Endblock gekuppelten rohrförmigen Elektrode (104) mit einem Kühlmittel; wobei die Kühlmittelführung mindestens einen sich quer oder in einem Winkel zur Rotationsachse (101a) erstreckenden Kühlmittelzuleitungsabschnitt (108) aufweist zum radialen Zuführen von Kühlmittel zu einer an den Endblock (102) gekuppelten rohrförmigen Elektrode (104), und wobei der Kühlmittelzuleitungsabschnitt (108) einen sich quer oder in einem Winkel zur Rotationsachse (101a) längserstreckenden Leitungsquerschnitt (108q) aufweist.</p>
申请公布号 DE102014101344(A1) 申请公布日期 2015.08.20
申请号 DE201410101344 申请日期 2014.02.04
申请人 VON ARDENNE GMBH 发明人 HEINRICH, HANS-JÜRGEN;STUDE, GERIT
分类号 H01J37/04 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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