モノシランの熱分解によるジシランの製造方法及び製造装置

摘要

モノシランを熱分解法によって高純度のジシランを製造することにより、高付加価値のジシランを経済的かつ効率的に製造して収益を極大化することができる、モノシランの熱分解によるジシラン製造装置を提供する。本発明は、モノシランを熱分解してジシランを製造する装置において、モノシランの熱分解反応部と、前記熱分解反応部で生成された固体粒子を除去する固体粒子除去部と、前記固体粒子の除去されたガスのうち、水素を除いた未反応モノシラン、熱分解反応生成物たるジシラン及びシリコン数３〜７の高次シランを液化して捕集する凝縮部と、前記液化された未反応モノシラン、ジシラン及びシリコン数３〜７の高次シランの混合物からモノシランを分離する第１分離部と、前記モノシランの除去された混合物からジシラン及びシリコン数３〜７の高次シランを分離する第２分離部とを含んでなるジシラン製造装置を提供する。