主权项 |
一种间隔件晶圆(1),其预定将被包含在一晶圆堆(8)中,该晶圆堆(8)包含至少一第一晶圆(6)其上载有多个功能性元件(9)及一第二晶圆(7)其上载有多个与该第一晶圆(6)上的功能性元件(9)对准之功能性元件(9),该晶圆堆(8)可被分割成多个集成式光学装置(21),间隔件晶圆(1)包含一具有第一表面(11)与第二表面(2)的间隔件本体(10),该间隔件晶圆(1)被塑形用以将设置在该第一表面(11)上的第一晶圆(6)与设置在该第二表面(12)上的第二晶圆(7)保持彼此相隔一固定的距离,该间隔件晶圆(1)进一步包含多个开孔(13),该间隔件晶圆(1)进一步包含多个凹穴(25)于至少该第一表面(11)上,其特征在于凹穴(25)被设计来在该间隔件晶圆(1)被胶黏至该第一晶圆(6)时收集过剩的黏胶,及其中这些凹穴(25)为间隔件沟槽(25),其被设置在该第一及第二表面(11,12)的至少一者上介于该等开孔(13)之间且与该等开孔(13)分隔开。
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