一种大直径、超长度高纯硅晶体切割方法及设备

摘要

本发明公开了一种大直径、超长度高纯硅晶体切割方法及设备，工艺为先对高纯硅晶体通过吸振材料粘接后过度装夹；再通过数控自动编程软件系统对切割高纯硅晶体图形进行编排处理；然后通过电镀金刚石砂线主切削运动为垂直往复运动，辅助切削运动为自转运动对高纯硅晶体切削；设备包括电镀金刚石砂线、工作平台、摇臂、曲柄摇杆机构和石墨粘块；采用电镀金刚石砂线作为刀具，大大提高高纯硅晶体加工范围，尤其针对大直径、超长度的高纯硅晶体；使用电镀金刚石砂线参与切削面积小，材料利用率有效提高；通过控制切削速度，降低了加工表面的粗糙度，提高效率及成品率；由于采用了吸振材料粘接后过度装夹，改善了高纯硅晶体受力方式，提高产品成品率。

主权项

一种大直径、超长度高纯硅晶体的切割工艺，其特征在于，工艺步骤为：a.首先对高纯硅晶体通过吸振材料粘接后过度装夹；b.再通过数控自动编程软件系统对切割高纯硅晶体图形进行编排处理；c.然后通过电镀金刚石砂线对高纯硅晶体切削，其主切削运动为电镀金刚石砂线垂直往复运动，辅助切削运动为电镀金刚石砂线自转运动。