| 摘要 |
회생 시의 전력을 자기 베어링 장치의 전자석 코일에서 소비함으로써 소형화나 코스트 다운을 도모할 수 있는 전자 회전 장치 및 그 전자 회전 장치를 구비한 진공 펌프를 제공한다. 모터 전압 감시 회로(60)에서, 모터 구동 주회로(30)의 전압이 모터(121)의 감속 시 혹은 가속 시의 설정 속도 도달 후의 오버 슛 등으로 통상 운전 시의 전압보다 높아진 상태를 검출한다. 이 때에 모터 전압 감시 회로(60)로부터 제동 전류 조정 회로(70)와 자기 베어링 제어 회로(50)에 대해 전압 고검출 신호를 보낸다. 제동 전류 조정 회로(70)에서는, 이 전압 고검출 신호를 받아 모터(121)의 유기 전압이 일정 혹은 내려가도록 모터(121)의 제동 전류 지령값을 줄인다. 한편, 자기 베어링 제어 회로(50)의 앰프 제어 회로(271)에서는, 이 전압 고검출 신호를 받아 전자석 코일(151)을 흐르는 바이어스 전류를 증가시켜 소비 전력을 늘린다. |
