| 摘要 |
縦型の反応管１２と、断熱材から形成され、反応管１２が収容される反応管収容室１６を内側に有する断熱壁１８と、断熱壁１８における反応管収容室１６の内壁に設けられたヒータ２０と、断熱壁１８における側壁の内部に上下方向に設けられた空気流通流路２２と、空気流通流路に上方向または下方向に空気を流通させるブロワ３０と、空気流通流路２２を外気と連通させる吸気弁２４、４２と、空気流通流路２２を設備排気系と連通させる排気弁４０、４４と、を備え、昇温工程と降温工程とで吸気弁２４、４２と排気弁４０、４４を切り換える基板処理装置である。 |
