发明名称 CONTINUOUS CZOCHRALSKI METHOD AND APPARATUS
摘要 <p>본 발명은 초크랄스키 성장장치 및 방법에 관한 것이며, 바람직하게는 잉곳 성장과정 동안에 운반장치로부터 제공된 고체원료가 도가니의 성장영역으로 들어가는 것이 실질적으로 방지되는 연속적인 초크랄스키 성장장치 및 방법에 관한 것이다. 이러한 방식에 있어서, 매우 일관된 특성을 갖는 잉곳이 생산된다.</p>
申请公布号 KR20150086468(A) 申请公布日期 2015.07.28
申请号 KR20157008924 申请日期 2013.09.09
申请人 GT ADVANCED CZ LLC 发明人 LUTER WILLIAM L.;HUANG WEIDONG
分类号 C30B15/02;C30B15/12;C30B29/06 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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