发明名称 |
CONTINUOUS CZOCHRALSKI METHOD AND APPARATUS |
摘要 |
<p>본 발명은 초크랄스키 성장장치 및 방법에 관한 것이며, 바람직하게는 잉곳 성장과정 동안에 운반장치로부터 제공된 고체원료가 도가니의 성장영역으로 들어가는 것이 실질적으로 방지되는 연속적인 초크랄스키 성장장치 및 방법에 관한 것이다. 이러한 방식에 있어서, 매우 일관된 특성을 갖는 잉곳이 생산된다.</p> |
申请公布号 |
KR20150086468(A) |
申请公布日期 |
2015.07.28 |
申请号 |
KR20157008924 |
申请日期 |
2013.09.09 |
申请人 |
GT ADVANCED CZ LLC |
发明人 |
LUTER WILLIAM L.;HUANG WEIDONG |
分类号 |
C30B15/02;C30B15/12;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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