Detektor für physikalische Größe

摘要

Trägheitssensor, der umfasst: ein Gehäuseelement (101); einen ersten Halbleiterchip (104) mit einem Substrat und einer Sensordetektionseinheit, die Gewichte, die relativ zu dem Substrat verlagerbar sind, und Detektionselektroden, um die Verlagerungen der Gewichte in elektrische Signale umzusetzen, enthält, wobei die Sensordetektionseinheit an dem Substrat montiert ist; einen zweiten Halbleiterchip (102), der an dem Gehäuseelement (101) montiert ist, um an den elektrischen Signalen arithmetische Operationen auszuführen; und eine Vibrationsverhinderungsstruktur mit einem ersten Vibrationsverhinderungsteil (103a) und einem zweiten Vibrationsverhinderungsteil (103b), der aus einem Material mit einem größeren Young-Modul, als der erste Vibrationsverhinderungsteil (103a) hergestellt ist, wobei die Vibrationsverhinderungsstruktur zwischen dem ersten Halbleiterchip (104) und dem zweiten Halbleiterchip (102) angeordnet ist, wobei der Umfang des ersten Vibrationsverhinderungteils (103a) von dem zweiten Vibrationsverhinderungsteil (103b) oder der Kombination aus dem zweiten Vibrationsverhinderungsteil (103b) und dem Gehäuseelement (101) umgeben ist, und wobei ein Abschnitt des Umfangs des ersten Vibrationsverhinderungsteils (103a) mit dem Gehäuseelement (101) in Kontakt ist, während der andere Abschnitt des Umfangs des ersten Vibrationsverhinderungsteils (103a) von dem zweiten Vibrationsverhinderungsteil (103b) umgeben ist.