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经营范围
发明名称
形成和处理超导体带材的方法、注入带材用的离子注入设备;METHOD OF FORMING AND PROCESSING SUPERCONDUCTOR TAPE, ION IMPLANTATION APPARATUS FOR IMPLANTING TAPE
摘要
一种形成超导体带材的方法包含:将超导体层沈积在基底上;在所述超导体层的表面上形成包括第一金属的金属层;以及将合金物质注入到所述金属层中,其中所述第一金属在注入所述合金物质之后形成金属合金。
申请公布号
TW201526319
申请公布日期
2015.07.01
申请号
TW103140902
申请日期
2014.11.26
申请人
瓦里安半导体设备公司 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人
王 康妮P WANG, CONNIE P.;墨菲 保罗 MURPHY, PAUL;沙利文 保罗 SULLIVAN, PAUL;葛特 卢多维克 GODET, LUDOVIC;辛克莱 法兰克 SINCLAIR, FRANK;艾文斯 摩根 EVANS, MORGAN
分类号
H01L39/24(2006.01)
主分类号
H01L39/24(2006.01)
代理机构
代理人
叶璟宗郑婷文詹富闵
主权项
地址
美国 US
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