内连线结构与其形成方法

主权项

一种内连线结构，包括：一第一沟槽；以及一第二沟槽，其中该第二沟槽比该第一沟槽宽，其中该第一沟槽与该第二沟槽均衬垫有一扩散阻障层，其中一第一导电层系沉积于该扩散阻障层上，其中一金属盖层系沉积于该第一导电层上，以及其中一第二导电层系沉积于该第二沟槽中的该金属盖层上，其中该第二沟槽中的该金属盖层直接接触该扩散阻障层。