发明名称 积层膜片检测系统
摘要
申请公布号 TWM503569 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW104205291 申请日期 2015.04.09
申请人 明基材料股份有限公司 发明人 吴建宏
分类号 G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种积层膜片检测系统,其中该积层膜片包含一保护膜与一偏光板,该系统包含:一光源,用以照射该积层膜片之该偏光板之一侧,其中该积层膜片之该保护膜的宽度方向之一端具有记录该保护膜各区域之光学性质之图案标记;一可调相位差装置,其设置于该积层膜片之该保护膜之一侧,且包含复数区可独立调整补偿值之相位差阵列;一检测用偏光板,其设置于该光源通过该可调相位差装置后之光路上;一标记读取装置,用以读取该保护膜之图案标记,并解读其所记录之光学性质;一控制单元,其系电连接于该标记读取装置与该可调相位差装置,并依照图案标记所记录之光学性质调整该可调相位差装置之各区的相位差阵列之补偿值,以与该保护膜的各相应区域之相位差抵消;一影像撷取装置,设置于该光源通过该检测用偏光板后之光路上,用以撷取抵消保护膜相位差后之该积层膜片之透光影像;以及一检测元件,其电连接于该影像撷取装置,并基于所撷取之透光影像,对该积层膜片进行缺陷检测。
地址 桃园市龟山区建国东路29号