非接触式制程套组

主权项

一种制程套组，包括：一大致柱形之遮蔽件，包括：一大致平坦之柱形本体，具有一上表面，该上表面向下朝一内端逐渐变细；至少一细长之柱形环，由该本体向下延伸；以及一安装段，由该本体之一外壁自该本体的该上表面向上延伸，该安装段具有径向朝外延伸超过该本体之该外壁的一安装凸缘、由该本体之该上表面延伸出去的一内壁、由该内壁径向朝外且朝上呈喇叭状的一内锥形部(inner taper)，以及由该安装凸缘之一外径向下延伸之一唇部。