探针点测系统、探针高度调整方法与探针位置监测方法;PROBE SYSTEM, PROBE HEIGHT ADJUSTING METHOD, AND PROBE POSITION SENSING METHOD

摘要

一种探针点测系统包含升降载台、至少一探针装置、至少一形变感测回路、接触感测回路、测试回路、第一开关与第二开关。升降载台用以承载待测物。探针装置位于升降载台上方，探针装置包含力臂、探针与至少一感测元件。探针连接于力臂的一端。感测元件位于力臂上，当力臂受力而变形时，感测元件随力臂的变形量而产生观测值变化。形变感测回路电性连接感测元件，用以接收观测值变化。接触感测回路包含电源与针压感测单元。针压感测单元电性连接电源，且具有升压元件与探针连接线路。探针连接线路并联于升压元件。