用于控制微机械执行器的调节器、控制系统和方法以及微镜系统

摘要

本发明公开一种用于控制微机械执行器的调节器，调节器具有：第一信号输入端，用于接收参考信号；第二信号输入端，用于接收测量信号；第一调节器元件，用于在所接收的参考信号中滤波和/或衰减预给定的频率模态和/或预给定的频率分量并且输出经滤波的和/或经衰减的参考信号；第二调节器元件，用于修改所接收的测量信号以及输出所修改的测量信号；第三调节器元件，用于将经滤波的和/或经衰减的参考信号和所接收的测量信号之间的调节偏差最小化并且输出经最小化的参考信号；第四调节器元件，用于修改所接收的测量信号的带宽并且将其从经最小化的参考信号中减去。本发明还公开一种相应的控制系统、一种相应的微镜系统和一种相应的方法。

主权项

一种用于控制闭合调节回路中的微机械执行器(2)的调节器(1)，所述调节器：具有第一信号输入端(3)，所述第一信号输入端构造用于接收参考信号(4)；具有第二信号输入端(5)，所述第二信号输入端构造用于接收测量信号(6)，所述测量信号表征所记录的、所述微机械执行器(2)对控制信号(7)的响应；具有第一调节器元件(8)，所述第一调节器元件构造用于在所接收的参考信号(4)中滤波和/或衰减预给定的频率模态和/或预给定的频率分量并且输出经滤波的和/或经衰减的参考信号(12)；具有第二调节器元件(11)，所述第二调节器元件构造用于修改所接收的测量信号(6)以便将闭合调节回路的第一模态的和/或另外的模态的品质最小化，并且构造用于输出所修改的测量信号(13)；具有第三调节器元件(10)，所述第三调节器元件构造用于将经滤波的和/或经衰减的参考信号(12)和所接收的测量信号(6)之间的调节偏差最小化并且输出经最小化的参考信号(14)；具有第四调节器元件(9)，所述第四调节器元件构造用于匹配所接收的测量信号(6)，以便匹配闭合调节回路的带宽并且将经匹配的测量信号加到由经最小化的参考信号和所修改的测量信号组成的和上，所述和构成所述控制信号(7)。