确认基板外形尺寸之方法

摘要

本发明公开了一种确认基板外形尺寸之方法，其是针对现行基板外形尺寸的确认方式作一改良，其改良点包括提供一具有对应基板外形尺寸之规格的罩幕，并且利用此罩幕，以在基板上形成一外圈标志与内圈标志。之后，检测基板上是仅具有内圈标志、同时具有外圈与内圈标志、或不具有外圈与内圈标志，以确认基板之外形尺寸是否符合规格。藉由此方法，本发明有效节省了见量测基板尺寸之设备的成本与量测时间，并有效提升其检测效益。

主权项

一种确认基板外形尺寸之方法，用于检测一基板之外形尺寸，其特征在于，该方法包括：提供一罩幕，该罩幕上是具有对应该基板之外形尺寸之一规格；利用具有该规格之该罩幕在该基板上形成一外圈标志与一内圈标志；以及检测该基板上是否具有该外圈标志或该内圈标志，以确认该基板之外形尺寸是否符合该规格。