悬臂支撑快速自开合屏蔽罩振动补偿系统及方法

摘要

本发明公开了一种悬臂支撑快速自开合屏蔽罩系统，该系统包括：支撑悬臂、防护壳、屏蔽罩及其齿轮驱动机构、热传输杆、目标执行器、六自由度力/力矩传感器、Stewart平台。本发明还公开了一种使用所述系统对悬臂支撑快速自开合屏蔽罩进行振动补偿的方法。本发明使用六自由度力/力矩传感器解耦机械振动传递关系；基于悬臂精确动力学模型的振动补偿，提高了Stewart平台的补偿效率；利用悬臂末端位置偏移量变化规律对屏蔽罩振动引起的目标执行器位置偏移量进行补偿，提高了其定位速度与精度。

主权项

一种悬臂支撑快速自开合屏蔽罩系统，其特征在于，该系统包括：支撑悬臂(1)、防护壳(2)、屏蔽罩(6)及其齿轮驱动机构(5)、热传输杆(3)、目标执行器(4)、六自由度力和/或力矩传感器(11)、Stewart平台(12)，其中：所述支撑悬臂(1)的末端与所述防护壳(2)的底座之间设置有六自由度力和/或力矩传感器(11)，所述六自由度力和/或力矩传感器(11)固定于所述支撑悬臂(1)的末端，并与所述防护壳(2)的底座直接刚性连接；所述Stewart平台(12)固定于所述防护壳(2)的内部，且其固定平台与所述防护壳(2)的底座刚性连接，运动平台与所述热传输杆(3)连接；所述热传输杆(3)的一端与所述Stewart平台(12)的运动平台连接，另一端用于固定目标执行器(4)；所述齿轮驱动机构(5)安装于防护壳(2)上面，该机构的传输轴与防护壳(2)内的电机输出轴连接；所述屏蔽罩(6)安装于所述齿轮驱动机构(5)的齿轮转动轴上。