对氧化物－矽堆叠的黏附性改良;ADHESION IMPROVEMENTS FOR OXIDE-SILICON STACK

摘要

实施例一般而言系关于控制氧化矽/非晶矽堆叠中之氢含量之方法。藉由预清洁基板之残留物，控制堆叠沉积期间氢的输送及防止在后续层沉积及处理期间从沉积之层之氢除气，可避免在元件(诸如3D NAND元件)形成中的分层影响。