| 摘要 |
【課題】研磨液がグリップリングと基台との結合箇所から侵入し、グリップリングの早期故障を招くことを防止できる化学機械研磨固定具を提供する。【解決手段】リング状基台１１とグリップリング１２とを含み、リング状基台は、第１結合面と第１内環面１１２と連結面１１３と第２内環面１１４とを備え、第１内環面の直径が第２内環面より大きく、第１内環面の両側が第１結合面と連結面に各々連接し、連結面の両側が第１内環面と第２内環面に各々連接する。グリップリングは、第２結合面と、第２結合面から凸起する内環凸縁１２９とを備える。内環凸縁が外環壁面１２９ａと頂面１２９ｂとを有し、外環壁面が第１内環面に結合し、頂面が連結面に結合する。グリップリングとリング状基台が結合した時、内環凸縁が第１結合面と第２結合面の接合境界部を覆うことで、研磨液が境界部から侵入するのを遮断する。【選択図】図５ |
