扫描电子显微镜

摘要

本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。

主权项

一种扫描电子显微镜，其利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子或反射电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，具备：使加速电压变化的维纳尔电极或正极电极；对所述电子线进行限制的物镜光圈，所述会聚透镜具有电磁线圈型会聚透镜及永久磁铁型会聚透镜这两种，所述永久磁铁型会聚透镜配置在所述扫描电子显微镜内，对从所述电子源放出的所述电子线进行会聚，所述电磁线圈型会聚透镜配置在所述扫描电子显微镜内的所述永久磁铁型会聚透镜的下段，对通过所述永久磁铁型会聚透镜会聚后的所述电子线进行会聚，所述电磁线圈型会聚透镜进行控制，以使在所述电磁线圈型会聚透镜与物镜之间形成的交叉的位置在上下方向上变更，从而对所述试料上的点径及探测电流进行调整。