| 摘要 |
<p>Elektrodenanordnung für ein mikromechanisches Bauelement (100), aufweisend:–wenigstens eine erste Funktionsschicht (10 EP) mit darin ausgebildeten Elektroden (11, 11', 12);–wenigstens eine zweite Funktionsschicht (20 VP); und–wenigstens eine dritte Funktionsschicht (30 FP), wobei die dritte Funktionsschicht (30) als elektrische Leiterbahn verwendbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Funktionsschicht (30) zumindest abschnittsweise vollständig von Oxidmaterial (40) freigestellt ist.</p> |
