用于光学相干断层扫描的系统和方法

摘要

本发明涉及用于光学相干断层扫描的一种系统以及一种相应的方法，具有：至少一个干涉仪(20)，该干涉仪(20)用于输出用来照射样本(1)的空间短相干或者非相干的光，拥有样本物镜(41)的样本臂，通过该样本物镜(41)把由该干涉仪(20)所输出的光聚焦到位于该样本(1)中的焦点上，以及最好拥有布置在平面中的多个探测器单元的探测器，该探测器用于探测由该样本(1)所反射的光。为了可靠地记录最锐利的样本(1)图像，在探测分别在该样本(1)的不同深度中反射的光期间，该样本物镜(41)的成像特性发生改变。

主权项

用于光学相干断层扫描的系统，其具有：‑至少一个干涉仪(10，20)，该干涉仪(10，20)用于输出用来照射样本(1)的光(4)，‑拥有样本物镜(41)的样本臂(22)，通过该样本物镜(41)把由该干涉仪(10，20)所输出的光(4)聚焦到位于该样本(1)中的焦点(F)上，以及‑探测器(30)，该探测器用于探测由该样本(1)所反射的光，其特征在于，所述系统具有：‑控制单元(16)；以及‑参考镜(25)，其中所述控制单元被构造用于控制所述系统，使得在探测分别在该样本(1)的不同深度(T1‑T3)中反射的光期间，该样本物镜(41)的成像特性以如下方式发生改变：位于该样本(1)中的焦点(F)被调节使得该焦点位于该样本(1)的如下一个深度范围中，也即在该深度范围中由所述参考镜(25)和由所述样本(1)分别反射的光具有恒定的相位关系，使得在该样本(1)中的每个被采样深度(Ti)中，一方面在该参考镜(25)上的被照射面与另一方面在该样本(1)的相应深度上的被照射面是一致的。