| 发明名称 | 一种金刚石肖特基二极管及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了提供一种金刚石肖特基二极管及其制作方法，该金刚石肖特基二极管，包括依次层叠设置的欧姆电极、P型高掺杂金刚石衬底、漂移层和肖特基电极，肖特基电极为单一铪层结构、或包括底层为单一铪层的多个单一金属层的复合层结构。该方法制作的金刚石肖特基二极管，提高了耐电压，降低了反向漏电流，改善了金刚石肖特基二极管的反向性能。 | ||
| 申请公布号 | CN104617159A | 申请公布日期 | 2015.05.13 |
| 申请号 | CN201510023353.8 | 申请日期 | 2015.01.17 |
| 申请人 | 王宏兴 | 发明人 | 王宏兴;胡超;王玮;张景文;卜忍安;侯洵 |
| 分类号 | H01L29/872(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/872(2006.01)I |
| 代理机构 | 陕西增瑞律师事务所 61219 | 代理人 | 张瑞琪 |
| 主权项 | 一种金刚石肖特基二极管，其特征在于，包括依次层叠设置的欧姆电极(1)、P型高掺杂金刚石衬底(2)、漂移层(3)和肖特基电极(4)，所述肖特基电极(4)为单一铪层结构、或底层为单一铪层的多个单一金属层的复合层结构。 | ||
| 地址 | 710049 陕西省西安市咸宁西路28号 | ||