| 摘要 |
Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauteil mit einem ersten Substrat (2) mit einer ersten Vorderseite (F2) und einer von der ersten Vorderseite (F2) abgewandten ersten Rückseite (B2); ersten Leitungsbahnen (3), welche auf der ersten Vorderseite (F2) des ersten Substrats (2) ausgebildet sind; mehreren Aktoreinrichtungen (30), welche an und/oder in dem ersten Substrat (2) ausgebildet sind und welche an die ersten Leiterbahnen (3) elektrisch angebunden sind, wobei die Aktoreinrichtungen (30) je mindestens eine Statorelektrode (9) und je mindestens eine mit der mindestens einen Statorelektrode (9) zusammenwirkende Aktorelektrode (10) aufweisen, welche derart ausgebildet sind, dass eine Spannung zwischen der Aktorelektrode (10) und der zusammenwirkenden Statorelektrode (9) so anlegbar ist, dass die Aktorelektrode (10) in Bezug zu der Statorelektrode (9) verstellbar ist; zweiten Leitungsbahnen (16; 16‘), welche auf der Rückseite (B2) des ersten Substrats (2) ausgebildet sind und mit den ersten Leiterbahnen (3) elektrisch verbunden sind; und einer Ansteuer-ASIC (12; 12‘), welche auf der ersten Rückseite (B2) des ersten Substrats (2) befestigt und an die zweiten Leiterbahnen (16; 16‘) elektrisch derart angebunden ist, dass die zwischen der mindestens einen Aktorelektrode (10) und der mindestens einen zusammenwirkenden Statorelektrode (9) jeder Aktoreinrichtung (30) anlegbare Spannung mittels der mindestens einen Ansteuer-ASIC (12; 12‘) steuerbar ist. |
