一种采用超快激光在靶材表面制备纳米栅格的方法及装置

摘要

本发明涉及一种采用超快激光在靶材表面制备纳米栅格的方法，该方法包括将靶材固定在样品台上；半透半反镜a将入射超快激光分为光路a与光路b；光路a经半透半反镜b反射被分为光路a1与a2后，分别聚焦至靶材表面的A部分与B部分；光路b经半透半反镜b被分为光路b1与b2后，分别聚焦至靶材表面的A部分与B部分；两组同轴光路先后垂直聚焦在靶材表面，分别扫描出条纹方向互成一定角度的交叉式纳米栅格。实施上述方法的装置包括半透半反镜a、半波片、半透半反镜b、反射镜a、反射镜b、反射镜c、聚焦镜a与聚焦镜b。本发明利用相对偏振方向不同的两束同轴超快激光脉冲先后垂直聚焦于材料表面，以直接扫描方式快速制备出纳米栅格。

主权项

一种采用超快激光在靶材表面制备纳米栅格的方法，其特征在于，包括以下步骤：100、将靶材(9)固定在样品台(10)上；101、半透半反镜a(1)将入射超快激光分为光路a与光路b；102、光路a依次经半波片(2)与半透半反镜b(3)被分为光路a1与a2，光路a1经聚焦镜a(7)聚焦至靶材(9)表面的A部分，半波片(2)改变了光路a与光路b的相对偏振方向，使两组同轴光路的相对偏振方向不同；光路a2依次经反射镜c(6)与聚焦镜b(8)聚焦至靶材(9)表面的B部分；103、光路b依次经过反射镜a(4)、反射镜b(5)与半透半反镜b(3)后被分为光路b1与光路b2，光路b1经聚焦镜a(7)聚焦至靶材(9)表面A部分；光路b2依次经反射镜c(6)与聚焦镜b(8)聚焦至靶材(9)B部分；104、光路a1与光路b1、光路a2与光路b2形成两组同轴光路，并且先后垂直聚焦于靶材(9)表面，分别扫描出条纹方向互成一定角度的交叉式纳米栅格。