| 发明名称 |
具有终点侦测视窗的化学机械平坦化垫 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI483808 |
申请公布日期 |
2015.05.11 |
| 申请号 |
TW097146288 |
申请日期 |
2008.11.28 |
| 申请人 |
英诺帕德股份有限公司 |
发明人 |
莱弗里 保罗;徐 奥斯卡Ｋ;威尔斯 大卫Ａ;艾德伯夫 约翰Ｅ;金 马克Ｃ |
| 分类号 |
B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
| 主权项 |
一种化学机械抛光垫，包含：一包括一表面的垫，该垫包含一能够透射至少一部份入射辐射的聚合物基质；至少一于该聚合物基质中的嵌入结构，该嵌入结构包括不存在该嵌入结构之该垫的一部份；以及一与该垫成为一整体的视窗，该视窗系由不存在该嵌入结构之该垫的部分所界定，其中该嵌入结构包含具有0.1微米至1000微米的直径之多数细长纤维，及其中该等细长纤维含有互连接合处，且该等互连接合处之间隔系介于0.1微米与20cm之间。
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| 地址 |
美国 |
