| 摘要 |
<p>본 발명은 다결정 실리콘을 파쇄하기 위한 방법 및 장치를 제공하며, 상기 방법은 물을 함유하는 물 탱크 내에 다결정 실리콘을 배치하는 단계; 및 상기 다결정 실리콘을 파쇄하기 위해 고전압 방출이 물 탱크의 물에서 발생되도록 순간적인 고전압을 물 탱크에 인가하는 단계를 포함한다. 상기 장치는 고전압 변압기(B), 고전압 정류기(G), 충전 캐패시터(C), 분리 스위치(K), 물을 함유하는 물 탱크(F), 및 물 탱크 내에 잠기는 제1전극(1) 및 제2전극(2)을 포함하고, 상기 제1전극 및 제2전극은 이들간 소정 거리로 배치되며, 여기서 상기 고전압 변압기(B)의 1차 권선은 주 전원에 연결되고, 상기 고전압 변압기의 2차 권선의 제1단자는 순차로 고전압 정류기(G), 분리 스위치(K) 및 제1전극(1)에 연결되고, 상기 2차 권선의 제2단자는 접지 및 제2전극(2)에 연결되며, 충전 캐패시터(C)는 고전압 정류기(G) 및 분리 스위치(K)의 공통 단자와 2차 권선 및 제2전극(2)의 공통 단자간 연결된다. 상기 방법 및 장치는 단순한 공정, 균일한 파편 및 금속 오염이 없는 장점을 갖는다.</p> |
