一种平面铌靶材的制备方法

摘要

本发明提供了一种平面铌靶材的制备方法，包括以下步骤：A)，将铌锭进行锻造，所述锻造的方式为径向打方轴向拔长；将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；B)，将步骤A)得到的铌锭进行锻造，所述锻造的方式为压扁锻造；将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；C)，将步骤B)得到的铌锭进行轧制，将轧制后的铌板进行热处理，得到平面铌靶材。本申请通过锻造与轧制的加工方式，使铸锭中的柱状晶区、中心等轴晶区和铌锭边缘附近的细晶区实施了有效破碎，同时通过中间热处理与成品热处理，使铌靶材组织更加均匀，得到了均匀细致的等轴晶组织。

主权项

一种平面铌靶材的制备方法，包括以下步骤：A)，将铌锭进行锻造，所述锻造的方式为径向打方轴向拔长；将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；B)，将步骤A)得到的铌锭进行锻造，所述锻造的方式为压扁锻造；将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；C)，将步骤B)得到的铌锭进行轧制，将轧制后的铌板进行热处理，得到平面铌靶材。