露光装置およびデバイス製造方法

摘要

パターンの繋ぎ合わせの欠陥の発生を低減する露光装置を提供すること。マスクを保持して移動するマスクステージとマスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系とを有する露光装置において、マスクステージは複数のマスクが互いに接しないように複数のマスクを保持し、投影光学系を複数設け、複数の投影光学系の各々は、複数のマスクのうち１つのマスクのパターンの像を基板に投影し、各投影光学系によって露光される基板の各露光領域が互いに一部重なるように基板を露光する。