石墨烯传感器及其制作方法和触控显示装置

摘要

本发明提供了一种制作石墨烯触摸传感器的方法，包括：在衬底上形成石墨烯层；在所述石墨烯层上形成金属层；在所述金属层上涂覆光刻胶；采用灰阶掩膜版对所述光刻胶进行曝光，显影后形成光刻胶完全去除区域、光刻胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域；去除所述光刻胶完全去除区域的金属层和石墨烯层；去除所述光刻胶部分保留区域的金属层；对所述光刻胶部分保留区域的石墨烯层涂覆保护膜；剥离剩余的光刻胶。本发明还提供了采用上述制作方法得到的石墨烯传感器及包括石墨烯传感器的触控显示装置。本发明避免了光刻工艺中碱性显影液和碱性剥离液接触石墨烯薄膜导致其导电性变差的问题，提高了良率，降低了成本。

主权项

一种制作石墨烯触摸传感器的方法，其特征在于，所述方法包括：在衬底上形成石墨烯层；在所述石墨烯层上形成金属层；在所述金属层上涂覆光刻胶；采用灰阶掩膜版对所述光刻胶进行曝光，显影后形成光刻胶完全去除区域、光刻胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域；去除所述光刻胶完全去除区域的金属层和石墨烯层；去除所述光刻胶部分保留区域的金属层；对所述光刻胶部分保留区域的石墨烯层涂覆保护膜；剥离剩余的光刻胶。