发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Struktur sowie insbesondere eine nach diesem Verfahren hergestellte Struktur
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Struktur, insbesondere in Form einer Mikro-Nano-Struktur, mit mindestens einem ersten Strukturteil, vorzugsweise bestehend aus Silicium-Mikrostrukturen, das zumindest teilweise derart mit einem weiteren Strukturteil, vorzugsweise bestehend aus Silicium, Aluminium oder Kalzium aufweisenden Beschichtungsmaterialien versehen wird, das eine Oberfläche erhalten wird, die neben einer hohen Emissivität, insbesondere im infraroten Strahlungsbereich, eine hohe Stabilität gegen mechanische und/oder thermische und/oder durch Kontaktmedien hervorgerufene Beanspruchung aufweist, sowie insbesondere eine nach diesem Verfahren hergestellte Struktur.</p>
申请公布号 DE102013017018(A1) 申请公布日期 2015.04.16
申请号 DE20131017018 申请日期 2013.10.14
申请人 SIEGERT THINFILM TECHNOLOGY GMBH 发明人 MÜLLER, LUTZ;HOFFMANN, MARTIN
分类号 B81C1/00;B81B1/00;B82B1/00;C23C14/22 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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