一种用于激光诱导检测的光学系统

摘要

本发明涉及一种新型激光诱导检测装置的激光导入光学系统，特别是涉及一种将激光汇聚在被检测物质的表面，通过激光所激发等离子体光谱得到被检测材料成分，或通过激光在材料内部及表面所激励的超声进行分析得到材料内部缺陷的激光导入光学系统，属于激光诱导检测领域。本发明涉及的系统包括：外套筒、分光棱镜、分光遮挡板、光束选择挡板、聚光套筒，还可以将聚光套筒替换成反射镜组，或者增加电动控制器，或者增加聚焦透镜。本发明通过将激光分束，并控制单束激光能量在诱导激励的阈值之下，而多束合并时又处于激励阈值之上的方法来实现诱导的调节控制，并能够同时避免激光聚焦在被检测材料的上，或者导致气体击穿的问题。

主权项

一种用于激光诱导检测的光学系统，包括：外套筒(1)、分光棱镜(2)、分光遮挡板(3)、光束选择挡板(4)、聚光套筒(5)，还可以将聚光套筒(5)替换成反射镜组(6)，或者增加电动控制器(7)，或者增加聚焦透镜组(8)；所述的外套筒(1)用来将诱导激励的激光束汇聚到被检测的材料表面上；所述的分光棱镜(2)用来将诱导用的入射激光分散成多束；所述的分光遮挡板(3)用来透过分束后的激光，并遮挡被光束选择挡板(4)反射的激光，避免散射干扰；所述的光束选择挡板(4)用来对入射的多束激光进行选择，控制其中的部分或全部透过；所述的聚光套筒(5)用来反射并改变多束诱导激光的方向，使多束诱导激光共同汇聚在一个面上；所述的反射镜组(6)可以由金属抛光或者玻璃等材料镀膜构成，可以是平面也可以是凹面或者凸面，功能与聚光套筒(5)相同；所述的电动控制器(7)内部包括驱动电机和传动机构，用来实现分光遮挡板(3)、光束选择挡板(4)、聚光套筒(5)的电动控制；所述的聚焦透镜(8)可以被添加在分光棱镜(2)前或分光棱镜(2)与分光遮挡板(3)之间或分光遮挡板(3)与光束选择挡板(4)之间或光束选择挡板(4)与聚光套筒(5)之间，用来实现单束光的汇聚。