| 发明名称 | 降低复杂度的薄膜电池方法 | ||
| 摘要 | 本发明叙述一种降低复杂度的薄膜电池方法。在此还叙述适用于支援降低复杂度的薄膜电池方法的处理设备配置。在此还描述支援降低复杂度的薄膜电池方法的群组工具(cluster tool)。 | ||
| 申请公布号 | CN102576898B | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201080045805.8 | 申请日期 | 2010.09.20 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 秉-圣·郭;尼蒂·M·克里希纳 |
| 分类号 | H01M10/04(2006.01)I;H01M10/0525(2006.01)I | 主分类号 | H01M10/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;钟强 |
| 主权项 | 一种制造薄膜电池的方法，所述方法包含：在对阴极层是惰性的环境中，在基板上方形成第一电解质层于所述薄膜电池的阴极层上；随后将所述第一电解质层暴露于包含O<sub>2</sub>、H<sub>2</sub>O、N<sub>2</sub>、CO和CO<sub>2</sub>的环境；随后用掩模遮蔽所述第一电解质层；随后在所述第一电解质层上方形成第二电解质层。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||