发明名称 辐射产生设备
摘要
申请公布号 TWI480912 申请公布日期 2015.04.11
申请号 TW103105708 申请日期 2014.02.20
申请人 财团法人金属工业研究发展中心 发明人 施威宏;陈彦君;张益三;尤崇智;郑茗徽
分类号 H01J35/24 主分类号 H01J35/24
代理机构 代理人 叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹东颖 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;刘亚君 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种辐射产生设备,包括:一靶材基座;一靶材,配置于该靶材基座上;一支撑组件,支撑该靶材基座且具有一轴向及一径向;一电子束产生装置,适于产生一电子束,其中该电子束沿该轴向射至该靶材以产生一辐射;以及一第一驱动单元,适于驱动该靶材基座沿该径向移动。
地址 高雄市楠梓区高楠公路1001号