发明名称 | 辐射产生设备 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI480912 | 申请公布日期 | 2015.04.11 |
申请号 | TW103105708 | 申请日期 | 2014.02.20 |
申请人 | 财团法人金属工业研究发展中心 | 发明人 | 施威宏;陈彦君;张益三;尤崇智;郑茗徽 |
分类号 | H01J35/24 | 主分类号 | H01J35/24 |
代理机构 | 代理人 | 叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹东颖 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;刘亚君 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 | |
主权项 | 一种辐射产生设备,包括:一靶材基座;一靶材,配置于该靶材基座上;一支撑组件,支撑该靶材基座且具有一轴向及一径向;一电子束产生装置,适于产生一电子束,其中该电子束沿该轴向射至该靶材以产生一辐射;以及一第一驱动单元,适于驱动该靶材基座沿该径向移动。 | ||
地址 | 高雄市楠梓区高楠公路1001号 |