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经营范围
发明名称
高品质GaN高电压矽异质结构场效电晶体
摘要
申请公布号
TWI481027
申请公布日期
2015.04.11
申请号
TW101145982
申请日期
2012.12.07
申请人
电源整合公司
发明人
蓝丹尼 杰莫;艾德伍兹 强;刘玲玲
分类号
H01L29/778;H01L21/205
主分类号
H01L29/778
代理机构
代理人
林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
一种形成GaN层在矽基材上之方法,该方法包括:形成一AlSiO的非晶质薄膜介于一矽晶圆与该矽晶圆之一表面上的一Al2O3薄膜之间;及沉积复数个叠层在该Al2O3薄膜上,其中每一叠层包括一GaN层,且覆盖于一AlN层上。
地址
美国
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