发明名称 高品质GaN高电压矽异质结构场效电晶体
摘要
申请公布号 TWI481027 申请公布日期 2015.04.11
申请号 TW101145982 申请日期 2012.12.07
申请人 电源整合公司 发明人 蓝丹尼 杰莫;艾德伍兹 强;刘玲玲
分类号 H01L29/778;H01L21/205 主分类号 H01L29/778
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项 一种形成GaN层在矽基材上之方法,该方法包括:形成一AlSiO的非晶质薄膜介于一矽晶圆与该矽晶圆之一表面上的一Al2O3薄膜之间;及沉积复数个叠层在该Al2O3薄膜上,其中每一叠层包括一GaN层,且覆盖于一AlN层上。
地址 美国