| 发明名称 | 一种带有上料台运动机构的MOCVD设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，属于MOCVD设备制造技术领域。带有上料台运动机构的MOCVD设备包括设备机架、设于设备机架内的反应室、及设于反应室外的机械手，机械手抓取石墨盘送入或送出反应室，还包括用于给机械手进盘和出盘的上料台运动机构，所述上料台运动机构包括：固定在设备机架内的底板、设于底板上端的机械传动部分、及固定在机械传动部分上方的载片盘。带有自动化的上料台运动机构，通过机械传动完成进盘、出盘动作，提高了MOCVD设备的人机操作的便捷性能及自动化程度。 | ||
| 申请公布号 | CN204251705U | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201420629559.6 | 申请日期 | 2014.10.28 |
| 申请人 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 发明人 | 肖四哲;肖岳南 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;B25J9/16(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人 | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 主权项 | 一种带有上料台运动机构的MOCVD设备，包括设备机架、设于设备机架内的反应室、及设于反应室外的机械手，机械手抓取石墨盘送入或送出反应室，其特征在于，还包括用于给机械手进盘和出盘的上料台运动机构，上料台运动机构包括固定在设备机架内的底板、设于底板上端的机械传动部分、及固定在机械传动部分上方的载片盘。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号涌鑫工业园D栋三楼 | ||