差示扫描量热仪及其制作方法

摘要

本发明提供一种差示扫描量热仪及其制作方法，包括采用厚膜工艺形成的主体核心部分以及设置于所述主体核心部分外侧的隔热层，所述主体核心部分包括：传导层；依次设置于所述传导层一侧的第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层；以及依次设置于所述传导层另一侧的第三绝缘层、加热层以及第四绝缘层；所述传感器层包括对称分布的样品侧传感器以及参比侧传感器，所述第二绝缘层完全覆盖所述样品侧传感器以及参比侧传感器。一体成型的主体核心部分与外界采用隔热层隔绝热损失，整机具有较小的热容，实现仪器高灵敏度和较小的时间常数。

主权项

一种差示扫描量热仪，其特征在于，包括：采用厚膜工艺形成的主体核心部分；以及设置于所述主体核心部分外侧的隔热层；其中，所述主体核心部分包括：传导层；依次设置于所述传导层一侧的第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层；以及依次设置于所述传导层另一侧的第三绝缘层、加热层以及第四绝缘层；所述传感器层包括对称分布的样品侧传感器以及参比侧传感器，所述第二绝缘层完全覆盖所述样品侧传感器以及参比侧传感器。