| 摘要 |
<p>計測精度が低下せず、かつ、観察用液体が制限されない密閉型ＡＦＭセルを提供する。本発明に係る密閉型ＡＦＭセル（１００）は、探針を有する片持ち梁（１２０）と、試料を固定するサンプルホルダー（１３２）と、サンプルホルダー（１３２）を移動させるスキャナー（１３４）と、探針が試料の計測面近傍に位置するように片持ち梁（１２０）を保持する蓋部（１２２）と、スキャナー（１３４）を保持する部材であり、試料を挟んで蓋部（１２２）と相対する部材である本体部（１３６）とを備え、蓋部（１２２）と本体部（１３６）とは、観察用液体とは異なる液体であり、当該観察用液体と接触していない液体である密閉用液体を介して接合されることにより、蓋部（１２２）と本体部（１３６）と密閉用液体とで形成される空間の内部に観察用液体を密閉する。</p> |
