| 摘要 |
第１部材に対する第２部材の相対移動量を計測するエンコーダであって、第１部材に設けられた回折格子と、計測光を回折格子の格子パターン面に概ね垂直に入射させる入射用光学部材と、第２部材に設けられて回折格子から発生する回折光を反射する第１反射部材と、回折光の方向を変更する第１方向変更部材と、回折格子から回折光によって発生する再回折光と他の回折光又は参照光との干渉光を検出する第１光電検出器と、第１光電検出器の検出信号を用いて前記第２部材の相対移動量を求める計測部とを備える。エンコーダは、回折格子を用いて計測する際に、格子パターン面の高さ変化に対する干渉光の信号強度の低下を抑制する。 |
