| 发明名称 | 选择性去除灰化旋涂玻璃的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于从上面具有旋涂玻璃和金属栅极和/或ILD材料的微电子器件上相对于所述金属栅极和/或ILD材料来选择性去除所述旋涂玻璃的半水性去除组合物和工艺。所述半水性去除组合物可以是含氟组合物或碱性组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN104488068A | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201380020219.1 | 申请日期 | 2013.03.12 |
| 申请人 | 安格斯公司 | 发明人 | 吴幸臻;涂胜宏 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L21/311(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 刘慧;杨青 |
| 主权项 | 一种相对于选自由金属栅极材料、ILD材料及其组合组成的群组的材料来选择性去除旋涂玻璃的方法，所述方法包括使包含所述旋涂玻璃和所述材料的基板与去除组合物接触，其中所述去除组合物相对于所述材料来选择性去除所述旋涂玻璃。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||