| 发明名称 |
光学系の少なくとも１つの欠陥を補償する方法及び装置 |
| 摘要 |
本発明は、少なくとも１つの欠陥が少なくとも部分的に補償されるように光学系の少なくとも１つの光学要素内に局所持続性修正配置を導入する段階を含む光学系の少なくとも１つの欠陥を補償する方法に関する。超短レーザパルスを使用して、局所偏光変化を補償するための歪み誘起複屈折を生成し、又は強度変化を補償するための局所散乱分布を生成する。【選択図】 図３ |
| 申请公布号 |
JP2015509662(A) |
申请公布日期 |
2015.03.30 |
| 申请号 |
JP20140558009 |
申请日期 |
2012.02.21 |
| 申请人 |
カール ツァイス エスエムエス リミテッド;カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
ドミトリエフ ウラジミール;ゼンガー インゴ;シュレゼナー フランク;メンゲル マルクス;ルオッフ ヨハネス |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B5/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
