发明名称 一种高精度平面定位系统
摘要 本实用新型提出了一种高精度平面定位系统,包括底座、两X轴直线电机模块、Y轴直线电机模块和载盘座,两X轴直线电机模块对称设置在底座上,Y轴直线电机模块穿设载盘座,Y轴直线电机模块的第一端和第二端分别连接两X轴直线电机模块;Y轴直线电机模块的第一端通过球状关节连接其中一X轴直线电机模块;Y轴直线电机模块的第二端通过轴关节连接另一X轴直线电机模块。Y轴直线电机模块采用双电机与滑轨安装板一体式设计,使变形匀称,提高了载盘座的平面度,防止滑轨安装板因不对称变形而出现卡死现象。有效避免了Y轴直线电机模块沿着X轴方向移动过程中,因为电机动子输出的力不一致性而导致Y轴直线电机模块卡死现象。
申请公布号 CN204229843U 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201420635610.4 申请日期 2014.10.29
申请人 雅科贝思精密机电(上海)有限公司 发明人 萨斯塔·布迪曼;吴玟宏;刘宇;廖永平;魏潇春
分类号 G12B5/00(2006.01)I 主分类号 G12B5/00(2006.01)I
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人 曾少丽
主权项 一种高精度平面定位系统,包括底座(6)、两X轴直线电机模块(5)、Y轴直线电机模块(2)和载盘座(1),两所述X轴直线电机模块(5)对称设置在所述底座(6)上,所述Y轴直线电机模块(2)穿设所述载盘座(1),所述Y轴直线电机模块(5)的第一端和第二端分别连接两所述X轴直线电机模块(5);其特征在于,所述Y轴直线电机模块(2)的第一端通过球状关节(15)连接其中一所述X轴直线电机模块(5);所述Y轴直线电机模块(2)的第二端通过轴关节(12)连接另一所述X轴直线电机模块(5)。
地址 201202 上海市浦东新区川沙路6999号川沙国际精工园B区38幢第三层