发明名称 |
一种高精度平面定位系统 |
摘要 |
本实用新型提出了一种高精度平面定位系统,包括底座、两X轴直线电机模块、Y轴直线电机模块和载盘座,两X轴直线电机模块对称设置在底座上,Y轴直线电机模块穿设载盘座,Y轴直线电机模块的第一端和第二端分别连接两X轴直线电机模块;Y轴直线电机模块的第一端通过球状关节连接其中一X轴直线电机模块;Y轴直线电机模块的第二端通过轴关节连接另一X轴直线电机模块。Y轴直线电机模块采用双电机与滑轨安装板一体式设计,使变形匀称,提高了载盘座的平面度,防止滑轨安装板因不对称变形而出现卡死现象。有效避免了Y轴直线电机模块沿着X轴方向移动过程中,因为电机动子输出的力不一致性而导致Y轴直线电机模块卡死现象。 |
申请公布号 |
CN204229843U |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201420635610.4 |
申请日期 |
2014.10.29 |
申请人 |
雅科贝思精密机电(上海)有限公司 |
发明人 |
萨斯塔·布迪曼;吴玟宏;刘宇;廖永平;魏潇春 |
分类号 |
G12B5/00(2006.01)I |
主分类号 |
G12B5/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 |
代理人 |
曾少丽 |
主权项 |
一种高精度平面定位系统,包括底座(6)、两X轴直线电机模块(5)、Y轴直线电机模块(2)和载盘座(1),两所述X轴直线电机模块(5)对称设置在所述底座(6)上,所述Y轴直线电机模块(2)穿设所述载盘座(1),所述Y轴直线电机模块(5)的第一端和第二端分别连接两所述X轴直线电机模块(5);其特征在于,所述Y轴直线电机模块(2)的第一端通过球状关节(15)连接其中一所述X轴直线电机模块(5);所述Y轴直线电机模块(2)的第二端通过轴关节(12)连接另一所述X轴直线电机模块(5)。 |
地址 |
201202 上海市浦东新区川沙路6999号川沙国际精工园B区38幢第三层 |