真空阀

主权项

一种真空阀，包括：一阀体，其具有彼此联通的一进气孔、一通孔以及一气道孔；一阀门，设置于该通孔中；一阀门驱动装置，固定于该通孔的一第一端，该阀门驱动装置的一驱动端系在该通孔中与该阀门连接，以在一直线方向上驱动该阀门在一第一位置以及一第二位置之间移动；其中，当在该第一位置时，该阀门系密封该进气孔，并使该通孔之一第二端以及该气道孔之间保持联通，当在该第二位置时，该阀门系密封该通孔的该第二端，并且使该进气孔以及该气道孔之间保持联通。