发明名称 |
雾化清洗装置和方法 |
摘要 |
本发明提供一种雾化清洗装置和方法,该雾化清洗装置包括冷却结构、谐振雾化结构和气动雾化结构,所述谐振雾化结构固定于所述气动雾化结构之上,所述冷却结构固定于所述谐振雾化结构之上,所述谐振雾化结构包括换能器和谐振器,所述谐振器上设有排液孔,所述气动雾化结构上开有第二进液孔、第二进气孔和雾化喷射口,所述排液孔与所述第二进液孔相连,所述第二进液孔与所述雾化喷射口连通,所述第二进气孔和所述雾化喷射口连通。本发明的雾化清洗装置结构简单,集成度高,实现了喷射超微雾化液滴,工艺易实现,克服单纯的雾化机制产生大尺寸液滴或是喷射流,对65纳米及其以下工艺的硅片表面的图形造成严重损伤的问题。 |
申请公布号 |
CN103071638B |
申请公布日期 |
2015.03.18 |
申请号 |
CN201310043381.7 |
申请日期 |
2013.01.30 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
刘效岩;吴仪;初国超;王浩 |
分类号 |
B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
韩国胜 |
主权项 |
一种雾化清洗装置,其特征在于,所述雾化清洗装置包括冷却结构(3)、气动雾化结构(5)以及固定于所述气动雾化结构(5)之上谐振雾化结构,所述冷却结构(3)固定于所述谐振雾化结构之上,所述谐振雾化结构包括换能器和谐振器(6),所述谐振器(6)上设有排液孔(15),所述气动雾化结构(5)上开有第二进液孔、第二进气孔(8)和雾化喷射口(10),所述排液孔(15)与所述第二进液孔相连,所述第二进液孔与所述雾化喷射口(10)连通,所述第二进气孔(8)和所述雾化喷射口(10)连通。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 |