主动对准的精细金属罩幕;ACTIVELY-ALIGNED FINE METAL MASK

摘要

本说明书所揭露的实施例大致上是有关于一种精细金属罩幕的对准。此精细金属罩幕系通过复数个微致动器和框架连接。微致动器可以作用在精细金属罩幕上，用以拉伸精细金属罩幕、重新定位精细金属罩幕或进行上述动作之组合。藉由此一方式，可以维持精细金属罩幕相对于基材的位置与尺寸。